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Highly Selective MEMS Gas Sensor to Detect H2 and NH3 With Tunable Discrimination

微电子机械系统 材料科学 光电子学
作者
Wenjun Yan,Wenxin Luo,Jianhao Li,Mingjie Li
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-03-15 卷期号：24 (6): 7473-7481
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3360299
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