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Micro- and Nanostructure Analysis of Vapor-Phase-Grown AlN on Face-to-Face Annealed Sputtered AlN/Nanopatterned Sapphire Substrate Templates

材料科学 蓝宝石 外延 阴极发光 位错 纳米结构 透射电子显微镜 结晶学 Crystal（编程语言） 光电子学 图层（电子） 纳米技术 复合材料 化学 光学 发光 程序设计语言 激光器 物理 计算机科学
作者
Yudai Nakanishi,Yusuke Hayashi,Takeaki Hamachi,Tetsuya Tohei,Yoshikata Nakajima,Shiyu Xiao,Kanako Shojiki,Hideto Miyake,Akira Sakai
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2023-03-29 卷期号：52 (8): 5099-5108 被引量：1
链接
springer.com nih.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1007/s11664-023-10348-3
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