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Design and Comparative Analysis of FD-SOI FinFET with Dual-dielectric Spacers for High Speed Switching Applications

材料科学 电介质 光电子学 绝缘体上的硅 晶体管 高-κ电介质 兴奋剂 阈值电压 MOSFET 逆变器 栅极电介质 电气工程 电压 电子工程 硅 工程类
作者
Manmari Amani,Asisa Kumar Panigrahy,Abhishek Choubey,Shruti Bhargava Choubey,V. Bharath Sreenivasulu,Digvijay V. Nair,Raghunandan Swain
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2023-11-25 卷期号：16 (4): 1525-1534 被引量：7
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02767-y
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