材料科学
纳米技术
涂层
沉积(地质)
蚀刻(微加工)
各向同性腐蚀
聚合物
激光器
过程(计算)
固体力学
固体表面
化学气相沉积
薄膜
激光束
表面光洁度
表面改性
接触角
纳米光刻
作者
Na Fu,Boshuo Shi,Tao Wan,Bo Wang,Shicheng Wei,Daxue Fu,Jianshe Chen,Binchuan Li,Qing Han
标识
DOI:10.1007/s10853-025-11560-8
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