Enhancement of Selectivity for Chemical Mechanical Polishing by Ultra-High-Dose C and Si Ion Implantation

抛光 选择性 化学机械平面化 材料科学 离子 离子注入 光电子学 复合材料 分析化学(期刊) 化学 色谱法 生物化学 催化作用 有机化学
作者
Shihao Yuan,K. Omori,Tadashi Yamaguchi,Takashi Ide,Seiji Muranaka,Masashi Inoue
出处
期刊:IEEE Journal of the Electron Devices Society [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/jeds.2024.3371455

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
学术菜狗小烁烁完成签到,获得积分10
刚刚
刚刚
GSQ发布了新的文献求助10
1秒前
李金金发布了新的文献求助10
1秒前
所所应助快乐尔容采纳,获得10
2秒前
5秒前
5秒前
雨幕完成签到,获得积分10
5秒前
6秒前
qah完成签到,获得积分10
6秒前
666sp发布了新的文献求助10
6秒前
李秋莉完成签到,获得积分20
6秒前
神勇钥匙完成签到,获得积分10
7秒前
科研通AI2S应助chen采纳,获得10
7秒前
科研通AI6.4应助GSQ采纳,获得10
8秒前
9秒前
9秒前
sugkook发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
11秒前
糖小白完成签到,获得积分10
12秒前
南极磷叶石完成签到,获得积分10
13秒前
Criminology34应助sureny采纳,获得30
16秒前
16秒前
路口发布了新的文献求助10
16秒前
研友_VZG7GZ应助丽优采纳,获得10
18秒前
开朗冬天发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
19秒前
章早立完成签到,获得积分10
20秒前
鲁滨逊发布了新的文献求助10
20秒前
21秒前
潦草小狗发布了新的文献求助10
21秒前
22秒前
科研通AI6.3应助快乐尔容采纳,获得10
22秒前
大力的灵雁应助sunshine采纳,获得10
22秒前
23秒前
肉夹馍发布了新的文献求助10
23秒前
24秒前
24秒前
高分求助中
Metallurgy at high pressures and high temperatures 2000
PowerCascade: A Synthetic Dataset for Cascading Failure Analysis in Power Systems 1000
Relationship between smartphone usage in changes of ocular biometry components and refraction among elementary school children 800
The SAGE Dictionary of Qualitative Inquiry 610
Signals, Systems, and Signal Processing 610
An Introduction to Medicinal Chemistry 第六版习题答案 600
应急管理理论与实践 530
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6337592
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8153167
关于积分的说明 17127904
捐赠科研通 5392659
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2858173
邀请新用户注册赠送积分活动 1835872
关于科研通互助平台的介绍 1686178