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钽涂层材料科学溅射兴奋剂钛氟化物氧化物氧化钛冶金化学工程无机化学复合材料纳米技术薄膜化学光电子学工程类

作者

Mian Chen,Zhijian Yi,Yuantao Bu,Q. Zhang,Deqiang Gan,Jing Qiu,Erlin Zhang,Jian Hu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-05-27 卷期号：668: 160393-160393 被引量：7

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160393

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