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Enhancing temperature stability of ALD-deposited IGZO thin-film transistor by optimizing composition ratio

材料科学薄膜晶体管作文（语言）晶体管薄膜热稳定性原子层沉积纳米技术光电子学化学工程工程物理电气工程物理工程类语言学哲学图层（电子）电压

作者

Jianting Wu,Huajian Zheng,Min Guo,Yi‐Fu Huang,Xiaoci Liang,Qian Wu,Chuan Liu

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-03-19 卷期号：1022: 179753-179753 被引量：9

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2025.179753

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