Efficient resist modeling and calibration using a Wiener–Padé formulation and convex optimizations

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作者
C Mu,Zhiyang Song,Cheng Lei,Shaopeng Guo,Ke Li,Song Zhang,Hao Jiang,David H. Wei,Yanlong Sun,Jinlong Zhu,Shiyuan Liu
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
卷期号:189: 113022-113022
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2025.113022

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