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Efficient resist modeling and calibration using a Wiener–Padé formulation and convex optimizations

抵抗 校准 正多边形 计算机科学 数学 数学优化 算法 材料科学 统计 纳米技术 几何学 图层（电子）
作者
C Mu,Zhiyang Song,Cheng Lei,Shaopeng Guo,Ke Li,Song Zhang,Hao Jiang,David H. Wei,Yanlong Sun,Jinlong Zhu,Shiyuan Liu
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2025-05-10 卷期号：189: 113022-113022
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.113022
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