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Optical and structural properties of AlN thin films deposited on different faces of sapphire substrates

材料科学 薄膜 蓝宝石 光电子学 基质（水族馆） 光致发光 外延 化学气相沉积 带隙 分析化学（期刊） 纤锌矿晶体结构 拉曼光谱
作者
Junhua Yin,Bangdi Zhou,Liang Li,Yao Liu,Wei Guo,Devki N. Talwar,Kaiyan He,Ian T. Ferguson,Lingyu Wan,Zhe Chuan Feng
出处
期刊：Semiconductor Science and Technology [IOP Publishing]
日期：2021-02-05 卷期号：36 (4): 045012- 被引量：2
标识
DOI：10.1088/1361-6641/abe3c5
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