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Equivalent oxide thickness scalability of Zr-rich ZrHfO2 thin films by Al-doping

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作者
Min Ji Jeong,Seungwon Lee,Hyo‐Bae Kim,Youkyoung Oh,Ju Hun Lee,Ji‐Hoon Ahn
出处
期刊：Materials Letters [Elsevier BV]
日期：2022-05-07 卷期号：321: 132418-132418
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2022.132418
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