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作者
Sivan Salzman,
Henry J. Romanofsky,
Stephen D. Jacobs,
John C. Lambropoulos
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2015-08-18
卷期号：43: 257-261
被引量：11
链接
osti.gov
osti.gov
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2015.07.011
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