A Spectroscopic Ellipsometry Study of TiO2 Thin Films Prepared by dc Reactive Magnetron Sputtering： Annealing Temperature Effect

TiO2 薄榆树被 dc 获得反应磁控管劈啪作响。钛(99.995%) 和氩和氧气体的混合物的一个目标被用来扔 TiO2 电影在上到硅晶片(100 ) 。扔并且退火的榆树的水晶的结构是推出的 byvariable 角度分光镜的 ellipsometry (花瓶) 并且由 X 光 diffractometry 支持了，榆树的光性质被花瓶检验。ellipsometry 的大小被执行在光谱在事件角度 75 度的范围 0.72-3.55 eV。几个 SE 模型，由物理、光的模型分类，被建议基于“更简单更好”统治并且曲线合适，它被产生并且与试验性的数据相比使用回归分析。和 Cody-Lorentz 分散模型的三倍层的物理模型提供最有说服力的结果，这被发现了。同样扔的榆树被发现不同类、非结晶，而退火的榆树介绍阶段转变给锐钛矿和金红石结构。折射索引 ofTiO2 有退火的薄榆树增加温度。更多的详细分析进一步表明最高的亚层的厚度增加，而底部的区域非结晶的 sub-layershrinks 当榆树在 300 度 C 被退火时。