Manufacture of a stable MEMS gas sensor using radio-frequency sputtering deposition and the hyperthermal annealing of GaOx/CuInGaSe2 films

微电子机械系统 溅射 材料科学 退火(玻璃) 光电子学 无线电频率 沉积(地质) 纳米技术 分析化学(期刊) 薄膜 化学 电气工程 冶金 环境化学 工程类 沉积物 生物 古生物学
作者
Ming‐Fong Tsai,Shu‐Hao Fan,Ting‐Jen Hsueh
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier]
卷期号:442: 138130-138130 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.snb.2025.138130
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
2秒前
2秒前
知性的猕猴桃完成签到,获得积分20
2秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
2秒前
ymjssg应助科研通管家采纳,获得10
2秒前
2秒前
FashionBoy应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
Ava应助昭浣采纳,获得30
3秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
3秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
tcf应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
3秒前
spc68应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
充电宝应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
田様应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
tcf应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
SciGPT应助Windfall采纳,获得10
3秒前
隐形曼青应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
小蘑菇应助科研通管家采纳,获得30
3秒前
深情安青应助Persistence采纳,获得10
3秒前
方方土应助科研通管家采纳,获得20
4秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
香蕉诗蕊应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
慕青应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
CipherSage应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
科目三应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
zhonglv7应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
科研通AI6应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
Jared应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
天天快乐应助科研通管家采纳,获得30
4秒前
FashionBoy应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
wy.he应助科研通管家采纳,获得20
4秒前
在水一方应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
所所应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
英姑应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
在水一方应助科研通管家采纳,获得10
5秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Encyclopedia of Reproduction Third Edition 3000
化妆品原料学 1000
《药学类医疗服务价格项目立项指南(征求意见稿)》 1000
花の香りの秘密―遺伝子情報から機能性まで 800
1st Edition Sports Rehabilitation and Training Multidisciplinary Perspectives By Richard Moss, Adam Gledhill 600
nephSAP® Nephrology Self-Assessment Program - Hypertension The American Society of Nephrology 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5631833
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4725782
关于积分的说明 14980351
捐赠科研通 4789894
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2558004
邀请新用户注册赠送积分活动 1518504
关于科研通互助平台的介绍 1478993