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Chemical mechanical planarization of nanotwinned copper/polyimide for low temperature hybrid bonding

化学化学机械平面化聚酰亚胺铜冶金高分子化学有机化学图层（电子）材料科学

作者

Pin-Syuan He,C. J. Tu,Kai-Cheng Shie,Chien-Yu Liu,Hsinyu Tsai,Dinh-Phuc Tran,Chih Chen

出处

期刊：Journal of Electroanalytical Chemistry [Elsevier BV]
日期：2024-09-01 卷期号：969: 118544-118544

标识

DOI：10.1016/j.jelechem.2024.118544

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