Synthesis of AlxCoCrFeNi HEA thin films by high power impulse magnetron sputtering: Effect of substrate bias voltage

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 光电子学 薄膜 基质(水族馆) 偏压 腔磁控管 脉冲(物理) 溅射 电压 电气工程 纳米技术 物理 工程类 地质学 海洋学 量子力学
作者
Alessandro Togni,Francesco Montagner,Enrico Miorin,Cecilia Mortalò,Valentina Zin,Giovanni Bolelli,Luca Lusvarghi,Stefano Frabboni,Gian Carlo Gazzadi,Lidia Armelao,Silvia Maria Deambrosis
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:496: 131644-131644 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.131644
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