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Atomic and molecular layer deposition for surface modification

原子层沉积沉积（地质）图层（电子）表面改性化学材料科学化学工程无机化学结晶学纳米技术物理化学地质学工程类古生物学沉积物

作者

Mika Vähä‐Nissi,Jenni Sievänen,Erkki Salo,Pirjo Heikkilä,Eija Kenttä,Leena‐Sisko Johansson,Jorma Koskinen,Ali Harlin

出处

期刊：Journal of Solid State Chemistry [Elsevier BV]
日期：2013-12-08 卷期号：214: 7-11 被引量：20

标识

DOI：10.1016/j.jssc.2013.11.040

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