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作者
Antti Rahtu,
Mikko Ritala
出处
期刊：
Chemical Vapor Deposition
[Wiley]
日期：2002-01-16
卷期号：8 (1): 21-21
被引量：131
标识
DOI：10.1002/1521-3862(20020116)8:1<21::aid-cvde21>3.0.co;2-0
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