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The structure and properties of amorphous diamond-like carbon films deposited by helicon wave plasma chemical vapor deposition

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作者

Jiali Chen,Peiyu Ji,Yan Yang,Chenggang Jin,Lanjian Zhuge,Xuemei Wu

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2020-06-05 卷期号：709: 138167-138167 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2020.138167

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