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Introducing a supercritical fluid technique to reduce passivation layer interface defects in passivated emitter rear contact cells

钝化 材料科学 太阳能电池 共发射极 超临界流体 光电子学 开路电压 载流子寿命 阳极 能量转换效率 场效应 图层（电子） 纳米技术 穿透深度 复合材料 电压 半导体器件 电极 泄漏（经济） 渗透（战争） 等效串联电阻 工程物理 接口（物质） 半导体 氢
作者
Chih Cheng Yang,Sheng Yao Chou,Min-Chen Chen,Shih Kai Lin,Sung Yu Chen,Shui Chin Liu,Kao Yuan Wang,Tsung Ming Tsai,Jen Wei Huang,Ting‐Chang Chang
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2021-09-30 卷期号：137: 106217-106217 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2021.106217
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