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A review on recent advances of chemical vapor deposition technique for monolayer transition metal dichalcogenides (MX2: Mo, W; S, Se, Te)
作者
Fikret Gonca Aras,
Alp Yilmaz,
H. Gunalp Tasdelen,
Ayberk Özden,
Feridun Ay,
Nihan Kosku Perkgöz,
Aydan Yeltik
出处
期刊:
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期:2022-05-30
卷期号:148: 106829-106829
被引量:56
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2022.106829
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