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Impact of gate dielectric on overall electrical performance of Quadruple gate FinFET

跨导 材料科学 电介质 栅极电介质 电容 光电子学 高-κ电介质 栅氧化层 截止频率 电气工程 线性 随时间变化的栅氧化层击穿 电导 寄生电容 和大门 金属浇口 逻辑门 晶体管 物理 电压 凝聚态物理 工程类 电极 量子力学
作者
Ho Le Minh Toan,Rupam Goswami
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2022-01-11 卷期号：128 (2) 被引量：8
标识
DOI：10.1007/s00339-021-05210-4
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