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DRAM-Peri FinFET - A Thermally-Stable High-Performance Advanced CMOS RMG Platform with Mo-Based pWFM for sub-10nm DRAM

德拉姆 CMOS芯片 材料科学 光电子学 嵌入式系统 随机存取存储器 计算机科学 电子工程 工程类 计算机硬件
作者
Jhuma Ganguly,H. Arimura,R. Ritzenthaler,H. Bana,Jan Willem Maes,Jia-Feng Lai,S. Brus,W. Maqsood,Ritam Sarkar,Balakrishnan Kannan,E. Capogreco,Vladimir Machkaoutsan,Sungwon Yoon,A. Spessot,Michael Givens,Naoto Horiguchi
标识
DOI：10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631417
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