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DRAM-Peri FinFET - A Thermally-Stable High-Performance Advanced CMOS RMG Platform with Mo-Based pWFM for sub-10nm DRAM
德拉姆
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作者
Jhuma Ganguly,
H. Arimura,
R. Ritzenthaler,
H. Bana,
Jan Willem Maes,
J. G. Lai,
S. Brus,
W. Maqsood,
Ritam Sarkar,
Balakrishnan Kannan,
E. Capogreco,
Vladimir Machkaoutsan,
Sungwon Yoon,
A. Spessot,
Michael Givens,
Naoto Horiguchi
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DOI：10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631417
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