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Effects of oxygen gas in the sputtering process of the WO3 sensing layer on NO2 sensing characteristics of the FET-type gas sensor
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作者
Yujeong Jeong,
Seongbin Hong,
Gyuweon Jung,
Wonjun Shin,
Chayoung Lee,
Jinwoo Park,
Donghee Kim,
Jong‐Ho Lee
出处
期刊:
Solid-state Electronics
[Elsevier BV]
日期:2022-12-08
卷期号:200: 108563-108563
被引量:21
标识
DOI:10.1016/j.sse.2022.108563
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