A Trench and Field Limiting Rings Co-Assisted JTE Termination With N-P-N Sandwich Epitaxial Wafers for 4H-SiC Devices

沟槽 限制 光电子学 材料科学 薄脆饼 外延 碳化硅 领域(数学) 工程物理 纳米技术 复合材料 物理 工程类 机械工程 纯数学 图层(电子) 数学
作者
Jun Yuan,Zhijie Cheng,Fei Guo,Kuan Wang,Wei Chen,Yangyang Wu,Shaodong Xu,Guoqing Xin,Zhiqiang Wang
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:45 (8): 1425-1428 被引量:5
标识
DOI:10.1109/led.2024.3416959
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