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Improved CD control and line edge roughness in E-beam lithography through combining proximity effect correction with gray scale techniques

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作者

Jens Bolten,T. Wahlbrink,Namil Koo,H. Kurz,Stefan J. H. Stammberger,Uli Hofmann,Nezih Ünal

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2009-11-24 卷期号：87 (5-8): 1041-1043 被引量：19

标识

DOI：10.1016/j.mee.2009.11.097

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