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An integrated capacitive sensing method for electrostatic comb-drive micromirrors

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作者

Ruihao Zhang,Jiasheng Qu,Yingchao Cao,Xinchao Zhang,Yilong Jia,Xiaoyi Wang,Wenbiao Zhou,Huikai Xie

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2023-05-09 卷期号：357: 114416-114416 被引量：8

标识

DOI：10.1016/j.sna.2023.114416

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