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Heat-Depolymerizable Tethers for Microelectromechanical System Assembly

微电子机械系统计算机科学材料科学纳米技术

作者

Oluwatoyin Atikekeresola,C. K. Harnett

出处

期刊：Journal of microelectromechanical systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-12-13 卷期号：34 (1): 1-3

标识

DOI：10.1109/jmems.2024.3511476

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