电容感应
微电子机械系统
对偶(语法数字)
材料科学
光电子学
压力传感器
电气工程
机械工程
工程类
文学类
艺术
作者
Gang Li,Tao Xu,Huzhong Zhang,Zhenhua Xi,Wenze Tao,Wenjie Jia,Deyan He,Xiaodong Han
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2025-04-11
卷期号:238: 114334-114334
被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114334
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI