溅射
制作
表征(材料科学)
涂层
材料科学
离子束
离子
离子束沉积
光电子学
薄膜
纳米技术
化学
医学
替代医学
有机化学
病理
作者
D. J. Yao,Zhe Zhang,Zhe Zhang,Xinyi Liu,Qiushi Huang,Xiangyue Liu,Siyi Huang,Runze Qi,Zhong Zhang,Zhong Zhang,Shuhu Liu,Lei Zheng,Weiwei Deng,Zhanshan Wang
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2025-03-29
卷期号:238: 114287-114287
被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114287
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