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Effect of the sputtering gas temperature on the properties of indium tin oxide films

溅射 材料科学 氧化铟锡 电阻率和电导率 微晶 透射率 溅射沉积 分析化学(期刊) 光电子学 薄膜 冶金 化学 纳米技术 有机化学 工程类 色谱法 电气工程
作者
Shumin Yang,Wei Zhang,Bin Xie,Mingyao Xiong,Weijing Kong,Zhendong Sun
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:772: 139789-139789 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2023.139789

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