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Optical emission spectroscopy study of plasma parameters in low-pressure hollow cathode plasma jet and planar magnetron powered by DC and pulsed DC supply

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作者
Himanshu Mishra,M. Tichý,P. Kudrna
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:205: 111413-111413 被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2022.111413

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