Aqueous ammonium sulfide to modify the surface of low κ dielectric thin films

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作者
Jay J. Senkevich,G.‐R. Yang,Toh‐Ming Lu
出处
期刊:Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects [Elsevier]
卷期号:214 (1-3): 119-126 被引量:13
标识
DOI:10.1016/s0927-7757(02)00363-1
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