Molecular dynamics simulation of color centers in silicon carbide by helium and dual ion implantation and subsequent annealing

材料科学 离子注入 碳化硅 退火(玻璃) 空位缺陷 分子动力学 离子 制作 光电子学 分子物理学 化学物理 结晶学 计算化学 复合材料 化学 医学 替代医学 有机化学 病理
作者
Y. H. Fan,Ying Song,Zongwei Xu,Bing Dong,Jintong Wu,Mathias Rommel,Kun Zhang,J. Zhao,Rui Zhu,Bingsheng Li,Qiang Li,Fengzhou Fang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:47 (17): 24534-24544 被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.05.172

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