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Analysis of the n-GaN electrochemical etching process and its mechanism in oxalic acid

草酸 机制（生物学） 蚀刻（微加工） 电化学 过程（计算） 材料科学 化学工程 化学 纳米技术 无机化学 计算机科学 物理化学 电极 工程类 物理 图层（电子） 量子力学 操作系统
作者
Artem Shushanian,Daisuke Iida,Zhe Zhuang,Yu Han,Kazuhiro Ohkawa
出处
期刊：RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01 卷期号：12 (8): 4648-4655 被引量：19
链接
rsc.org rsc.org nih.gov nih.gov handle.netdoi.org
标识
DOI：10.1039/d1ra07992a
摘要
We studied the mechanism of wet electrochemical etching of n-GaN films in oxalic acid.
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