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Analysis of the n-GaN electrochemical etching process and its mechanism in oxalic acid
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作者
Artem Shushanian,
Daisuke Iida,
Zhe Zhuang,
Yu Han,
Kazuhiro Ohkawa
出处
期刊：
RSC Advances
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：12 (8): 4648-4655
被引量：19
链接
rsc.org
rsc.org
nih.gov
nih.gov
handle.net
doi.org
标识
DOI：10.1039/d1ra07992a
摘要
We studied the mechanism of wet electrochemical etching of n-GaN films in oxalic acid.
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