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Effect of Polishing Process of a Semiconductor Wafer on the Fracture Mechanics of Diced Chips

薄脆饼抛光材料科学半导体化学机械平面化过程（计算）断裂（地质）法律工程学复合材料机械工程冶金工程制图光电子学工程类计算机科学操作系统

作者

Seong-Min Lee

出处

期刊：Korean Journal of Metals and Materials [The Korean Institute of Metals and Materials]
日期：2016-03-05 卷期号：54 (3): 204-209 被引量：1

标识

DOI：10.3365/kjmm.2016.54.3.204

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