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C-axis aligned crystalline indium-gallium-zinc oxide (CAAC-IGZO) and high-k charge trapping film for flash memory application

材料科学 薄膜晶体管 光电子学 无定形固体 量子隧道 阈值电压 氧化物 薄膜 非易失性存储器 结晶 闪存 透射电子显微镜 氧化物薄膜晶体管 阈下传导 晶体管 俘获 图层（电子） 场效应晶体管 阈下斜率 活动层 隧道效应 衍射 电子衍射 隧道场效应晶体管 闪光灯（摄影）
作者
Soonoh Jeong,Seokmin Jang,Hoonhee Han,Hyeon Tae Kim,Changhwan Choi
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2021-08-08 卷期号：888: 161440-161440 被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2021.161440
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