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Synthesis and study of highly dense and smooth TiN thin films

锡 X射线反射率薄膜电阻率和电导率材料科学分析化学（期刊）溅射分压化学纳米技术冶金工程类有机化学色谱法氧气电气工程

作者

Susmita Chowdhury,Rachana Gupta,Shashi Prakash,Layanta Behera,D. M. Phase,Mukul Gupta

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2021-04-23 卷期号：267: 124648-124648 被引量：10

链接

arxiv.org arxiv.orgdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2021.124648

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