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Similarity scaling for low-pressure capacitive radio-frequency CF 4 plasmas across operation modes

缩放比例电容感应物理相似性（几何）等离子体计算机科学比例（比率）算法数学度量（数据仓库）模式（计算机接口）功能（生物学）统计物理学数学分析背景（考古学）

作者

Anonymous,Xiaokun Wang,Hui Li,Julian Schulze,Peter Hartmann,Zoltán Donkó,Yongxin Liu,Yangyang Fu

出处

期刊：Physical review [American Physical Society]
日期：2026-01-15 卷期号：113 (2)

标识

DOI：10.1103/7z84-ccpw

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