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Automatic classification of EUV mask defects inspected using DUV inspection optics

极紫外光刻 光学 计算机科学 人工智能 物理
作者
Aravindh Rajiv,Venkata Rama Samir Bhamidipati,Mark P. Pereira,Sankaranarayanan Paninjath,Neha Razdan,Stephen H. Kim,Jin‐Hyuk Choi,Jonghoon Lim,Sujeong Won,Dong-Wook Lee,Woo Jin Kim,Jongha Park
标识
DOI：10.1117/12.3034707
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