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Epitaxial Growth of ScAlN on (111) Si Via Molecular Beam Epitaxy

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作者
Matthew T. Hardy,Andrew C. Lang,James L. Hart,Eric N. Jin,Neeraj Nepal,Vikrant J. Gokhale,Brian P. Downey,D. S. Katzer,Peter M. Litwin,Maria Gabriela Sales,Tyler A. Growden,Virginia D. Wheeler
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2024-12-23 卷期号：54 (6): 4291-4298
标识
DOI：10.1007/s11664-024-11673-x
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