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Evolution of crystal quality and stress in the early stages of GaN-on-Si (111) MOVPE with a single AlN buffer layer

金属有机气相外延 缓冲器（光纤） 图层（电子） 材料科学 压力（语言学） 单晶 光电子学 质量（理念） 结晶学 化学 纳米技术 计算机科学 外延 物理 哲学 电信 量子力学 语言学
作者
Cai Liu,Hassanet Sodabanlu,Masakazu Sugiyama,Yoshiaki Nakano
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2024-12-13 卷期号：233: 113945-113945 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113945
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