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Evolution of crystal quality and stress in the early stages of GaN-on-Si (111) MOVPE with a single AlN buffer layer

金属有机气相外延缓冲器（光纤）图层（电子）材料科学压力（语言学）单晶光电子学质量（理念）结晶学化学纳米技术计算机科学外延物理哲学电信量子力学语言学

作者

Cai Liu,Hassanet Sodabanlu,Masakazu Sugiyama,Yoshiaki Nakano

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-12-13 卷期号：233: 113945-113945 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113945

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