发布文献求助

Lithography gets extreme

光刻 计算光刻 下一代光刻 平版印刷术 极端紫外线 极紫外光刻 体积热力学 纳米技术 光电子学 多重图案 计算机科学 物理 光学 材料科学 抵抗 激光器 电子束光刻 图层（电子） 量子力学
作者
Christian Wagner,Noreen Harned
出处
期刊：Nature Photonics [Nature Portfolio]
日期：2009-12-24 卷期号：4 (1): 24-26 被引量：547
标识
DOI：10.1038/nphoton.2009.251
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
威武问枫完成签到，获得积分20
2秒前
2秒前
3秒前
4秒前
茉莉青提发布了新的文献求助20
5秒前
ss的应助被Suica采纳，获得10
6秒前
乐乐的应助被llg采纳，获得10
6秒前
balabala发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
8秒前
AFong发布了新的文献求助10
10秒前
科研通AI5的应助被LSY28采纳，获得10
10秒前
Steven发布了新的文献求助10
11秒前
小白发布了新的文献求助10
16秒前
16秒前
啦啦啦啦啦完成签到，获得积分10
19秒前
ding的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
传奇3的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
NexusExplorer的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
领导范儿的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
20秒前
ss的应助被dadad采纳，获得10
22秒前
kai发布了新的文献求助10
23秒前
26秒前
26秒前
史璐璐完成签到，获得积分10
27秒前
29秒前
balabala完成签到，获得积分10
29秒前
小苗发布了新的文献求助10
30秒前
30秒前
31秒前
32秒前
英姑的应助被威武问枫采纳，获得10
32秒前
33秒前
不知道发布了新的文献求助10
34秒前
科研通AI5的应助被史璐璐采纳，获得10
34秒前
玄音发布了新的文献求助10
35秒前
打打的应助被吴彦祖采纳，获得10
36秒前
只只呀完成签到，获得积分10
36秒前
高分求助中
【此为提示信息，请勿应助】请按要求发布求助，避免被关 20000
Continuum Thermodynamics and Material Modelling 2000
Encyclopedia of Geology (2nd Edition) 2000
105th Edition CRC Handbook of Chemistry and Physics 1600
Maneuvering of a Damaged Navy Combatant 650
Периодизация спортивной тренировки. Общая теория и её практическое применение 310
Mixing the elements of mass customisation 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3778761
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3324341
关于积分的说明 10217907
捐赠科研通 3039436
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1668081
邀请新用户注册赠送积分活动 798544
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 758415
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通