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Focused Ion Beam Lithography with Transition Metal Oxide Resists : Lithography Technology
作者
Nobuyoshi Koshida,
Koichi Ohtaka,
M. Ando,
Masanori Komuro,
Nobufumi Atoda
出处
期刊：JJAP series
日期：1989-12-30
卷期号：3: 143-147
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