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微电子机械系统
粘结强度
作者
Ziting Ye,Shichen Xie,Yuanxing Duan,Xingchao Mao,Zishan Xiong,Fuxin Du,Qiyuan He,Yingxia Liu
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2026.166605
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