化学气相沉积
材料科学
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GSM演进的增强数据速率
制作
纳米技术
金属
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场效应晶体管
图层（电子）
纳米尺度
晶体管
电压
电气工程
冶金
工程类
计算机科学
地质学
医学
电信
替代医学
病理
海洋学
作者
Lei Yang,Xueqin Yuan,Renyong Liu,Ping Wu,Yu Lin Zhong,Fucheng Zhu,Wen-Gui Chang
标识
DOI：10.1007/s10854-022-09131-7
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