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Characterizing the thermo-optic coefficient of gallium phosphide-on-insulator platform using high-quality ring resonators

磷化镓 材料科学 光电子学 谐振器 绝缘体上的硅 绝缘体(电) 戒指(化学) 质量(理念) 磷化铟 砷化镓 化学 物理 冶金 有机化学 量子力学
作者
Weiren Cheng,Ning Ding,Xucheng Zhang,Zhenyu Liu,Xingyu Tang,Wenfu Lin,Yifan Wang,Ziyu Pan,Naiqin Bu,Mingjian You,Xingchen Ji,Yi Li,Qiancheng Zhao
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:126 (16)
标识
DOI:10.1063/5.0258133
摘要

Characterizing a material's thermo-optic coefficient lays the foundation for optimizing thermal tuning of photonic integrated devices, a key feature for applications in optical communication, sensing, and signal processing. Unlike traditional bulk measurements, determining the thermo-optic coefficient (TOC) in microscale photonic devices offers significant advantages in data processing and provides more direct relevance to real-world device performance. In this work, we characterize the TOC of gallium phosphide (GaP) films using an air-cladded ring resonator, built on a GaP-on-insulator (GaP-OI) architecture. The resonator is fabricated via an optimized “etch-n-transfer” process, which incorporates silicon dioxide hard masks to enhance the precision of pattern transfer and improve the waveguide surface cleanliness, reducing defects and ensuring better device performance. The fabricated resonator exhibits a loaded quality factor of (2.18 ± 0.1)×104 at 1550 nm by using contact lithography, with a waveguide propagation loss of 23.8 ± 0.3 dB/cm. At 780 nm, the propagation loss decreases to 16.7 dB/cm. The resonator also shows a temperature-dependent wavelength shift of 65.8 pm/K, allowing us to extract a TOC of 1.19 × 10−4/K for GaP. This high temperature sensitivity empowers the GaP-OI platform particularly well-suited for rapid thermal turning, which is beneficial for a range of applications including optical sensing, optical signal processing, and highly efficient nonlinear conversion.

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