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Tantalum Nitride Seed Layers for Bcc Tantalum Coatings Deposited on Steel by Magnetron Sputtering

材料科学 氮化钽 溅射 溅射沉积 氮化物 冶金 涂层 图层(电子) 复合材料 氮化钛 氮化锆 扫描电子显微镜 基质(水族馆) 薄膜 纳米技术 海洋学 地质学
作者
Anamika Patel,L. Gładczuk,Charanjeet Singh Paur,Marek Sosnowski
出处
期刊:MRS Proceedings [Springer Nature]
卷期号:750 被引量:2
标识
DOI:10.1557/proc-750-y5.23

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