Detection of interstitial oxygen contents in Czochralski grown silicon crystals using internal calibration in laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS)

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作者
Seyyed Ali Davari,Patrick Taylor,Robert Standley,Dibyendu Mukherjee
出处
期刊:Talanta [Elsevier]
卷期号:193: 192-198 被引量:32
标识
DOI:10.1016/j.talanta.2018.09.078
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