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Modification of Diazoquinone–Novolac Photoresist Films beyond the Region of Implantation of B+ Ions

化学 离子 光刻胶 分子 通量 激进的 衰减全反射 光化学 辐照 离子注入 分析化学(期刊) 红外光谱学 图层(电子) 有机化学 物理 核物理学
作者
С. Д. Бринкевич,E. V. Grinyuk,Д. И. Бринкевич,В. С. Просолович
出处
期刊:High Energy Chemistry [Pleiades Publishing]
卷期号:54 (5): 342-351 被引量:19
标识
DOI:10.1134/s0018143920050045
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