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Deposition of Si-DLC film and its microstructural, tribological and corrosion properties

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作者

Junho Choi,Masahiro Kawaguchi,Takahisa Kato,M. Ikeyama

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2007-01-04 卷期号：13 (8-10): 1353-1358 被引量：57

标识

DOI：10.1007/s00542-006-0368-8

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